我國從20世紀60年代開始發展精密和超精密機床,1987年北京機床研究所研制成功空氣軸承主軸的加工球面的超精密車床。“十五”期間我國超精密機床獲得了較大的發展,但和工業發達國家相比還有較大的差距。第二次世界大戰后的20世紀50年代后期,美國首先開始進行超精密加工機床方面的研究,目前,美國比較有名的從事超精密加工制造的公司、企業至少有30家,其中最具代表性并取得重大成果的是美國勞倫斯·里佛摩爾國家實驗室(Lawrene Livermore National Laboratory,LLL國家實驗室)。超精密加工技術的發展使美國在航空、航天、核能等方面取得了重大的成就,如LLL國家實驗室的大型光學金剛石車床LODTM和大型金剛石車床DTM-3是現在世界公認的水平最高、達到當前技術最前沿的超精密車床。由于美國超精密機床水平較高,商品生產不僅國內使用,還有相當多的出口,比較著名的有Moore公司的M-18AG型超精密非球曲面車床和Pneumo公司的MSG-325型超精密非球面車床等。超低溫處理